Universell einsetzbare, hochempfindliche Folien-Dehnungsmessstreifen (Folien-DMS) gehören zu den Forschungszielen der Arbeitsgruppe Sensorik und Dünnschichttechnik um Prof. Dr. Günter Schultes. Das Projekt adressiert grundlegende Fragestellungen hochempfindlicher Folien-Dehnungsmessstreifen (DMS). Am Beispiel von granularen, metallhaltigen Kohlenstoffschichten werden die Querempfindlichkeit, der Kriechfehler und die Feuchteempfindlichkeit bearbeitet. Das Freistellen von Leiterbahnstegen durch eine Laserbearbeitung der Substratfolie erlaubt den erforderlichen Eingriff in die Dehnungsübertragung.
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Die Kombination aus hoher Empfindlichkeit (hoher k-Faktor von etwa 25) und niedriger Temperaturempfindlichkeit (niedriger TKR) gelingt mit Dünnschichtsystemen aus metallhaltigen Kohlenstoffschichten. Basierend auf umfangreichen Grundlagenarbeiten arbeitet die Gruppe an der Übertragung der Schichten auf flexible Polyimid-Folien, so dass universell applizierbare hochempfindliche DMS entstehen.
Hochempfindliche Folien-DMS erweitern das Spektrum der Kraft-, Gewichts-, Druck- und Drehmomentsensorik. Zudem ist die Klärung einiger noch offener Fragestellungen zur Verbesserung der Stabilität ein großer Mehrwert, der durch das Projekt generiert wird. Für Sensorhersteller ergeben sich vielfältige vorteilhafte Anwendungen.
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